Dönen kryostat (RC) ile manyetik malzeme üretimi

Abstract

Döner Kryostat (RC) Sistem, ferromanyetik ince filmler ve çok tabakalı yapıları üretmek üzere geliştirildi. Önceleri metalik olmayan tabakalı ince filmler üretmek için ilk defa kullanılan sistem, buharlaştırma ve doğru akım magnetroh püskürtme kaynakları eklenerek değişiklik yapıldı. Sistem, statik tekniklerle karşılaştırıldığında birkaç cm2 lik yüzey genişliğine karşılık, 80 cm2 (2 cm genişliğinde) geniş bir üretim alanına sahiptir. Sıvı azotla doldurulan l0−6 mbar 'da basınçta ve 4000 rpm hızla dönebilen paslanmaz çelikten yapılmış bir iç silindirik gövdeye sahip olan sistemde, on tane kaynağı sistemin dış silindir gövdesi çevresine yerleştirmek mümkündür ve bu nedenle istenen herhangi bir şekilde sürekli olarak istenen şekilde farklı malzemeler üretilebilir.

A novel Rotating Cryostat (RC) system has been developed in order to produce ferromagnetic thin-films and multilayers. The system used primarily for producing non-metallic layered thin-films has been modified by adding an evaporation and a dc sputtering sources. The system has a large deposition area of 80cm2 (2 cm wide) compared to a few cm2 in static techniques. The system has a liquid nitrogen filled stainless steel drum (13 cm diameter) which can be rotated at high speed of 4000 rpm in an evacuated chamber (≈10−6mbar), up to ten target sources can potentially be positioned on the periphery of the drum and hence many different materials may be continuously deposited in any prescribed sequence.